• 产品工艺应用类型有α-Si，SiO2，SixNy，PSG，BPSG等。
• 应用于Si基工艺、化合物、MEMS领域、滤波器、微显示等领域。
• 可根据用户的产品需求灵活的配置不同类型的传送平台及腔体型号（有多片型及单片型腔体可供选择），适合院校、研发线、中试线、大规模产线的不同应用需求。
• 可根据用户应用场景提供不同的工艺配置项，从而达到客户的不同折射率，不同应力得需求。
• 运营成本低。