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SINO Plasma7000Metal 金属刻蚀机

发布时间：2022/12/01 16:47:57

工艺应用
铝、钛、钼、钨、氧化钛、氮化钛、氮化铝等刻蚀


晶圆尺寸
8寸及以下


适用衬底材料
硅、碳化硅、氮化镓、砷化镓、蓝宝石、石英玻璃



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